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蔡司SEM掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間：2024-03-07 17:01:27

有人曾經(jīng)說(shuō)過："如果我想得到準(zhǔn)確的尺寸，我就把被測(cè)樣品交給SEM操作員。蔡司代理三本精密儀器小編介紹，蔡司SEM掃描電鏡是一種高精密測(cè)量?jī)x器，人們常常想當(dāng)然地認(rèn)為它是正確的，所產(chǎn)生的任何測(cè)量值也是正確的。在過去的幾年里，SEM的測(cè)量精度有了極大的提高，CD-SEM也已經(jīng)成為半導(dǎo)體加工生產(chǎn)線上監(jiān)控制造過程的主要工具之一。但是，事實(shí)還是會(huì)被掩蓋，我們必須小心謹(jǐn)慎。

間距測(cè)量

如果我們將兩條線分開一定的距離，那么測(cè)量第一條線的前緣到第二條線的前緣的距離就定義了間距或位移。間距測(cè)量中的一些系統(tǒng)誤差(由于振動(dòng)、電子束相互作用效應(yīng)等)在兩個(gè)前緣上都是相同的;這些誤差，包括試樣與電子束相互作用的影響，被認(rèn)為是可以忽略的(Jensen，1980;Postek，1994)。因此，與邊緣相關(guān)的誤差有相當(dāng)大的一部分不在用于計(jì)算間距的等式中。成功測(cè)量的主要標(biāo)準(zhǔn)是測(cè)量的兩條邊緣必須在所有方面都相似。

平均多條線可以最大程度地減少校準(zhǔn)樣本中邊緣效應(yīng)造成的影響。使用精確的間距標(biāo)準(zhǔn)可以輕松完成SEM放大校準(zhǔn)。RM8820有許多間距結(jié)構(gòu)可用于此過程;可根據(jù)要求提供計(jì)算間距的軟件程序(Postek，2010 )。

寬度測(cè)量

任何納米結(jié)構(gòu)、納米粒子或半導(dǎo)體線路的寬度測(cè)量都很復(fù)雜，因?yàn)樯鲜龅脑S多系統(tǒng)誤差現(xiàn)在都是相加的。因此，在測(cè)量中還包括來(lái)自兩個(gè)邊緣的邊緣檢測(cè)誤差。SEM的放大倍率不應(yīng)校準(zhǔn)為寬度測(cè)量值。寬度測(cè)量會(huì)將這些誤差加在一起，導(dǎo)致測(cè)量不確定性增加。

此外，由于電子束-樣品的相互作用效應(yīng)不同，這些誤差也因樣品而異。使測(cè)量更加復(fù)雜的是，每臺(tái)SEM都會(huì)因操作條件和電子收集特性而產(chǎn)生其特有的儀器效應(yīng)。實(shí)際上，通過這種測(cè)量方法，我們并不知道圖像中邊緣的準(zhǔn)確位置，更重要的是，不知道它是如何隨儀器條件而變化的。

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